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安堉 快攻LED設備 優化製程 奪科技大獎

經濟日報每周日推出「隱形冠軍」系列報導，介紹台灣成功中小企業的發展故事，這些企業大家未必熟悉，但他們正在譜寫一頁傳奇，或許將有機會成為下一個在全球發光發亮的台積電。

安堉創新科技去年才從工研院分割獨立，產品專攻LED產業核心關鍵設備，也就是有機金屬化學氣相沉積（MOCVD）機台中的氣體噴灑模組（Showerhead），而且還搭配自行開發的軟體系統，協助客戶找到製程參數的最佳配方。對於安堉而言，不只希望產品滿足客戶需求，更希望後續獲得原廠青睞，在台灣與合作夥伴共同建立本土供應鏈。

安堉總經理傅振昌表示，目前產業界對於半導體上下游供應鏈的投資意願很高，但對於上游關鍵設備的投入與關注相對少。在LED生產線中，最重要的設備就是MOCVD，這攸關晶粒的品質，目前主要供應商只有美國、德國的兩家廠商，日本廠商的設備出口更受限制，陸廠近年則是在小尺寸腔體的MOCVD設備方面取得一些成果，台灣相關廠商較少。

傅振昌出身工研院機械所，研究精密機械系統相關題目已有七、八年。他提到，工研院重視基礎工業技術扎根與發展，鼓勵去做大家不敢做的事情，氣體噴灑模組對於MOCVD機台的產出表現很重要，當初評估後認為有能力去做，且MOCVD氣體噴灑頭等相關零組件通常都是由原廠的歐美供應商製作，因此選定MOCVD的氣體噴灑頭研究切入。

在MOCVD機台出貨時，氣體噴灑模組已經建置在內，傅振昌簡單解釋，家中浴室的蓮蓬頭通常拿來噴水，而MOCVD的噴灑頭則用來噴出氣體，是設備中重要的關鍵零組件。既有設備如果要噴灑兩種氣體，在基板上形成磊晶，money826852是採用雙管同時噴出的方式，但安堉的方案則是兩種氣體利用一個同心圓管，分內外圈來噴灑，混合效果較好，氣體沉積所形成的表面會更為均勻分布。噴灑頭的設計會影響表面的均勻度，進而影響最終產品的品質、亮度或光譜等。

傅振昌舉例，這就好比射箭時要兩箭同時命中靶心，別人的方案是由兩個選手分別但同時射向一個靶，比較容易有錯失。安堉是由同一個選手同時射出兩箭，而且兩支箭在射出去的瞬間就合為一體，命中靶心的機率因此高很多。

傅振昌等人在工研院多年的努力，逐步展現成果，其MOCVD氣體噴灑模組獲得2014年的國家發明獎，後續其CyperEpi可視化設計驗證軟體，更在2017年獲得素有「科技界奧斯卡獎」之稱的R&D 100獎。

傅振昌說，他在工研院工作多年，如果不創業，其實可以繼續做到退休，但如此一來，苦心鑽研的技術就無法發揚光大，團隊也沒有更大的舞台可以發揮，甚為可惜，這是促使其從工研院分割獨立安堉的推力。同時，R&D 100獎鼓勵將技術轉化為商品，在技術開發過程中也得到很多外界的回饋，認為這值得投入生產，這則是促成安堉的拉力。

除了氣體噴灑模組等硬體，傅振昌指出，磊晶廠生產晶片所需要設定的參數，包括溫度、壓力、流量與轉速等，高達上百組，要找出「最佳配方」相當不易，這就跟做麵包一樣，從麵團配方、發酵溫溼度到烤溫都得講究，要先找到關鍵參數。

為了找尋關鍵參數，工研院開發出「可視化磊晶製程優化系統」的軟體，傅振昌說，這就像醫院的核磁共振成像（MRI），可讓製程人員先「看」到MOCVD腔體內的熱流層與氣流層變化，在軟體上先充分了解哪些是最佳製程參數，協助磊晶製程人員縮短產品實機的開發時間。

技術開發成熟之後，也評估國內產業界對MOCVD磊晶設備的氣體噴灑模組優化有迫切需求，可以考慮量產，且還有後續下一世代產品可開發，成立公司自然是適合的選擇。傅振昌說，安堉從工研院取得多項技術專利，該公司董事長李聖文對於工研院的技術能力深深認同，因此挹注資金成立公司，希望因應產業所需，並帶動設備供應鏈加速發展。

眼見LED業界的MOCVD設備長期倚賴國外供應商，傅振昌認為，關鍵零組件掌握在國外廠商手上，不利於產品升級與創新研發，安堉是技術自主，透過軟硬體整合平台，可讓設備廠縮短前期開發下世代關鍵模組的時間與成本。

傅振昌說，安堉提供客製化模組，可供磊晶廠現有不同廠牌的MOCVD機台使用，並整合MOCVD在地化供應鏈，降低製造成本，也能協助磊晶廠升級活化舊機，不用花大錢買新設備。

傅振昌認為，現在是化合物半導體應用起飛的機會到來，如5G通訊、車用電子、光通訊、電源控制、紅外線、健康照護、巨量資料、自駕車、Micro LED、UVC LED等，MOCVD是製作前述應用相關磊晶產品的關鍵設備，安堉基於人工智慧與大數據技術的核心，搭配台灣的硬體強項，未來有機會抓住商機。

安堉關鍵零組件 打開市場

安堉的氣體噴灑模組（Showerhead）是創新的MOCVD關鍵零組件，安堉總經理傅振昌表示，目前國內尚無相同設計可導入產業應用，與目前原廠設備零組件相比，性能更好、更具經濟效益，可讓使用的氣體流量減少一成，降低相關成本，也提升磊晶均勻性一倍，在不更動原先設計下，安裝容易，並可延長模組壽命，保養時間可從半年延長為一年。

傅振昌提到，安堉的可視化磊晶製程優化系統，能協助磊晶廠找到最佳化製程參數，縮短產品研發周期，相較之下，MOCVD原廠所附的資料庫，並不具備如安堉提供的磊晶製程預測功能。磊晶製程人員經由安堉這套系統，獲得製程參數的時程可從原先一星期，縮短到2小時。

安堉上述產品已取得多件相關專利，並與工研院持續合作，在用噴灑頭證明技術實力之後，後續開發MOCVD加熱器等零組件。

傅振昌表示，國外MOCVD設備商起步較早，安堉在策略上聚焦於噴灑頭、加熱器、磊晶軟體的軟硬整合技術，目前還不做整機技術，但彈性提供廠商磊晶模組的客製化設計開發，讓客戶有更多內部製程參數掌握度，可確保技術留在自家磊晶廠內。

對於MOCVD氣體噴灑模組的業務擴展機會，傅振昌表示，主要客戶鎖定磊晶廠、原廠設備廠及通路商等，短期內希望努力打入國內磊晶廠供應鏈，money826852中期則期望能通過原廠硬體模組認證，如果成功打入原廠供應鏈，將是首家達陣的台廠，後續可進一步爭取參與成為新機台零組件供應商的機會。該公司明年也規劃與國外的終端業者進行Micro LED與UVC LED的產品應用交流。

至於可客製化的CyberEpi＋AI軟體，安堉則希望擴展LED、無線通訊與太陽能等領域的客戶，並提供相關顧問服務。

安堉創新科技公司簡介

2018年6月創立於新竹市，由一群工研院Spin-Off的磊晶專家所組成，專注於Showerhead裝置設計、模擬分析及可靠度等技術超過10年。